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在薄膜化過(guò)程中,正確控制塑料薄膜的制備條件極其重要,因?yàn)楸∧げ牧系男再|(zhì)與制備條件具有密切的關(guān)系.制備條件與制備方法、薄膜材料和應(yīng)用要求等有關(guān).最佳制備條件的建立需要經(jīng)過(guò)反復(fù)試驗(yàn).
在真空蒸鍍方法中,應(yīng)當(dāng)適當(dāng)選擇使用加熱器和舟的材料,確定適當(dāng)?shù)恼舭l(fā)溫度,基板溫度,工作壓力等.基板溫度過(guò)高,容易使沉積膜再蒸發(fā).
塑料薄膜制備條件的選擇
在濺射方法中,應(yīng)適當(dāng)選擇靶材料及其形狀.濺射氣體?;鍦囟?工作氣壓以及濺射功率等.
采用化學(xué)氣相沉積方法,應(yīng)適當(dāng)選擇氣體原料。氣體濃度。氣體流量、工作壓力和基板溫度等.采用等離子體化學(xué)氣相沉積方法,除上述條件外,還要考慮電源功率密度等.在上述各種方法的制備條件中,其共同點(diǎn)是要適當(dāng)選擇基板溫度和工作氣壓.實(shí)踐證明,基板溫度對(duì)薄膜的各種性質(zhì)的影響甚大,是重要的制備條件之一.